【出 处】：《 计算机仿真 》 CSCD 2014年第31卷第12期 121-124页,共4页

【作 者】： 顾江

【摘 要】 针对太阳能电池扩散区无法准确测量的困难,应用仿真软件可以更好的研究太阳能电池扩散区。应用SILVACO软件对太阳电池的两步扩散工艺进行了仿真研究,探索了不同的二次扩散工艺方法对太阳电池性能和扩散区结构的影响。分别对湿法氧化扩散工艺、二氧化硅保护扩散工艺和无氧扩散工艺进行仿真设计。仿真结果表明,湿法氧化二次扩散工艺可以提高电池的表面杂质浓度,形成较浅的PN结。通过对三种不同工艺电池光谱响应的仿真,发现应用湿法氧化二次扩散工艺可以获得最佳光谱响应性能。通过对湿法氧化二次扩散工艺的扩散温度、预淀积浓度的研究,发现随着二次扩散温度的增加,电池的短路电流先增加后降低;随着预淀积浓度的增加,电池的短路电流先增加后降低。